工业气体和高纯气体的生产过程当中，气体中氧含量的监测是一个非常重要的课题。这是因为氧气是一种化学活性比较强的物质，是一种氧化性zui强的氧化剂。
在某些行业，当人们需要它作为氧化剂时，就会希望其纯度越高越好;反之，在另外一些行业，氧在其他气体当中的存在又是一种有害物质，人们这时又希望氧的含量越少越好。因此，氧在各种气体当中的含量范围都是一个倍受关注的问题。
通常氧含量的检测方法会有很多种，但是根据气体标准当中规定的标准检测氧含量的方法可以分为化学法以及电化学法。这是由于只有化学法以及电化学法才能准确测定气体中氧含量数值。
有的单位使用气相色谱仪作为多种气体成分的检测方法，同时也可以将多种气体中的氧含量检测出来。但是，必须指出，气相色谱仪检测得出来的氧含量数值通常是氧和氩的加和数值(氩作为载气的气相色谱仪除外)，实际上并不单单是氧的一个数值。这是因为使用气相色谱分离方法在通常的条件下难以分离氧和氩，所得的氧峰数据内都已经包含了氩的含量。而且如果想*分离氧和氩，在气相色谱分离方法方面是困难的，但不是不可行的。事实上，为了数据准确和操作方便，气体标准规定气体中氧含量检测应以化学法及电化学法为标准。
在进行氧含量分析尤其是微量氧分析的时候，由于空气中氧的含量高达21%O2，故而如果处理不当极易造成对样品的污染和干扰，出现了分析结果的数据不正确。其主要的原因就是仪器操作不当造成。以下我们来谈几点影响测定的因素。
1.泄漏。氧分析仪在初次启用前一定要严格检漏。仪器只有在严密不漏的前提下才可以获得准确的数据结果。任何连接点，焊点，阀门等地方的不严密，都将会导致空气中的氧反渗进入管道以及仪器内部，从而得出含氧量偏高的一个结果。
2.污染。在重新使用仪器的时候，我们首先必须要注意在连接取样管路的时候是否漏入空气，而且必须要认真将漏入的空气吹除干净，尽量不使大量氧气通过传感器以延长传感器寿命。在管道的系统净化过程当中，一般为了缩短净化时间，都需要有一定的方法，一般使用高压放气以及小流量吹除交替进行可以迅速净化管道。
3.管道材质的选择。管道材质以及表面粗糙度也将会影响到样气中氧含量的变化。一般不要用塑料管，橡胶管等来做连接管路。我们通常都是选用铜管或不锈钢管，对超微量分析(指<0.1ppm)则必须用抛光过的不锈钢管。
4.气路系统的简化以及洁净。微量分析要求必须要有效地排除气路上的各种管件，阀门，表头等里面的死角对样气造成的污染。因此，我们应该尽可能简化气路系统，选用死角小的连接件等等。并且，避免使用水封，油封以及腊封等这些设备，防止溶解氧溢出造成污染，更需要避免的是在样气引出至仪器进口的管线上增加易造成污染的净化设备等。只有这样我们才能保证系统洁净，所得数据准确。
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